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高真空雰囲気炉
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■特徴 | |
| 本炉は高真空下(10-5Pa)、及び水素雰囲気中での焼成可能な様、排気系にターボ分子ポンプを搭載しています。 又、ベーキング機構を兼ね備えた炉です。高純度材料の研究開発に最適な炉です。 |
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| ■仕様 | ||
| ●温度 常用2400℃ 最高2500℃ |
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| ●到達真空度 10-5Pa |
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| ●雰囲気 真空中、水素中、Ar中 |
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