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高真空雰囲気炉
■特徴
本炉は高真空下(10
-5
Pa)、及び水素雰囲気中での焼成可能な様、排気系にターボ分子ポンプを搭載しています。
又、ベーキング機構を兼ね備えた炉です。高純度材料の研究開発に最適な炉です。
■仕様
●温度
常用2400℃ 最高2500℃
●到達真空度
10
-5
Pa
●雰囲気
真空中、水素中、Ar中